1. SEM的工作原理

SEM利用聚焦电子束扫描样品表面，产生多种信号（如二次电子、背散射电子等），这些信号被探测器接收并转换为图像。具体过程如下：

电子束生成：通过电子枪（通常是热发射或场发射电子枪）发射电子，并通过电磁透镜系统聚焦成一束极细的电子束。

扫描样品表面：电子束在样品表面逐点扫描，电子与样品表面原子相互作用，产生二次电子、背散射电子、X射线等信号。

信号检测与图像生成：检测器捕捉这些信号并转换为电信号，经过放大和处理后，形成图像并在显示屏上呈现。

2. SEM的主要应用2.1 材料科学

表面形态分析：SEM可用来观察材料表面的微观结构，如晶粒、相界、裂纹、孔隙等。

微观缺陷检测：SEM能够检测材料表面的微小缺陷，如裂纹、空洞和杂质等。

断口分析：用于分析材料断裂面，帮助确定材料的断裂模式（如脆性断裂或延性断裂）。

2.2 生物学

细胞和组织观察：SEM可用于观察生物样品的表面结构，如细胞形态、组织排列和微观结构。

微生物学研究：SEM可以用于研究微生物的表面特征，如细菌、病毒和真菌的形态学特征。

2.3 电子学

半导体器件分析：SEM用于检查集成电路（IC）和其他半导体器件的表面形貌，检测制造过程中的缺陷。

纳米结构观察：SEM能够高分辨率地观察纳米级结构，如纳米线、纳米颗粒和薄膜等。

2.4 化学与化工

催化剂表面分析：SEM可用于研究催化剂的表面形貌和活性位点的分布。

颗粒和粉末分析：用于观察化工材料的颗粒形态和尺寸分布。

3. SEM的优点和局限性优点

高分辨率：SEM可以达到纳米级别的分辨率，能够清晰地观察微观结构。

深度景深：相比光学显微镜，SEM具有较大的景深，能清晰显示样品表面的三维形貌。

多种成像模式：通过不同探测器，SEM可以获取不同类型的图像，如二次电子图像、背散射电子图像等，提供丰富的样品信息。

局限性

样品制备要求：样品必须导电或经过金属镀层处理，以防止电荷积累影响成像。

真空环境：SEM操作需要在高真空环境下进行，限制了对某些易挥发样品的直接观察。

样品损伤：高能电子束可能对样品表面造成损伤，特别是对于有机材料或生物样品。

4. SEM检测的实际步骤4.1 样品制备

样品的制备是获得高质量SEM图像的关键。样品需要符合以下要求：

导电处理：对于非导电样品，如生物组织或有机材料，通常需要进行金属镀层（如镀金、镀铂）以提高导电性。

固定和干燥：生物样品需要固定（如使用戊二醛）和干燥（如临界点干燥）处理，以保持原有形态。

安装样品：样品通常被固定在样品台上，并通过导电胶与样品台连接，以确保良好的导电性。